真空泵的性能參數包括極限壓力，抽速，功率，溫升，振動，噪聲和壽命。最重要的是泵的極限壓力，抽速和電動機功率。

　　極限壓力：泵獲得的最低穩定壓力，單位Pa，與以下因素有關：

　?。?）它與測量壓力時使用的真空計的類型有關，壓縮真空計。測量結果大約比導熱率真空計所測量的值高一個數量級。

　?。?）泵油循環

　?。?）它與泵油的工作溫度有關：油溫越高，油的飽和蒸氣壓越高，泵的極限真空度越低。

　?。?）它與泵腔接觸點和排氣口之間的有害空間有關?？艘驗樵谟泻臻g中，真空泵無法將其從泵腔中排出，而是將其帶回到吸入側，從而導致極壓。隨著壓力的升高，泵中循環的泵油會填充到有害空間中，從而可以消除有害空間對極限壓力的影響。

　?。?）零件的加工精度，活動零件之間的間隙，軸端密封件等。

　?。?）抽氣速率：單位時間內的廢氣量，以L.S-1為單位。

　　額定抽速：真空泵的額定抽速。b幾何抽速：真空泵在額定速度下每單位時間排出的幾何體積與抽氣結束時抽氣室的體積，轉子的轉速，以及旋轉一周的吸排氣次數有關。C實際抽速：實際測得的抽速是入口壓力的函數。

　　電機功率：與壓縮有關空氣，克服摩擦和過載。